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探针台

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可升级的模块化150 mm手动探针台

MPS150既划算又易于使用,作为高精度的手动探针台,它有一个直径150mm的台面来摆放被测层块。它的应用很广泛,如I-V/C-V;RF;毫米波以及太赫兹测量;设备特性;失效分析(FA);亚微米探测;微机电系统;光电工程测试等等。其稳定的压板可以容纳16定位器,提供一个类似于探针卡的功能来配合特殊的层面可靠性(WLR)的应用。

产品介绍

产品特点

灵活性——多个便于重新设置以及升级的选件以满足范围广泛的应用

稳定性——刚性显微镜桥和内置隔震方案的固定框架能很好地将震动衰减

易用性——人体工程学和简单的设计,舒适,容易,操作简单

 

 

针对具体应用的解决方案

Cascade Microtech专门为特定的应用提供基于MPS150的预配置包。Cascade Microtech有信心为您在最短的时间内提供能满足您所有要求的精确探测解决方案。

 

 

I-V/C-V测量:

EPS150COAX, EPS150COAXPLUS 以及EPS150TRIAX有信心在最短时间内提供满足您该方面需要的精密探测解决方案。EPS150COAX和EPS150COAXPLUS在pA级别拥有最佳的直流参数测试方法。EPS150TRIAX也能用于在fA级别的低噪声IV/ CV测量。

 

 

 

 

RF测量:

EPS150RF有信心在最短时间内提供满足您该方面需要的精密探测解决方案。该系统采用射频探测高达67 GHz,有探测最小至25微米×35微米的能力。

 

 

 

 

 

 

 

 毫米波测量(mmw):

EPS150MMW有信心在最短时间内提供满足您该方面需要的精密探测解决方案。该系统使用已知的最好方法来测量太赫兹频率。

 

 

 

 

 

 

失效分析(FA):

EPS150FA有信心在最短时间内提供满足您该方面需要的精密探测解决方案。该系统包含已知最好的手段泳衣检测电气故障,错误探查,并且可以做到1um以下时任保持精度。

 

 

 

 

 

 大功率器件特性测量:

EPS150TESLA有信心在最短时间内提供满足您该方面需要的精密探测解决方案。该系统采用已知最佳方法测量高电压MOSFET,IGBT,BJT等功率器件的击穿电压,最高可达3,000 V(三轴)/10,000 V(同轴),低通电阻下最大电流可达100 A的。

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