概述

    INSTEC的系列的冷热晶圆夹盘拥有高精度的平整度和温度的均匀性，有可独立控制的真空通道吸住晶片。INSTEC的高低温晶圆夹盘温度范围为-190°C至700°C，具体根据型号不同而定，所有型号都能达到0.1°C或更好的温度稳定。可供选择的尺寸范围从20至300毫米，客户对于尺寸的任意要求几乎都能满足。我们还提供了三轴版本，大部分的晶圆夹盘可应用于超低级电流的测量，漏电流可以达到压皮安级别。它不仅可以应用于半导体晶圆测试，而且可以用于液晶显示器，电子元件，太阳能电池和OLED制造，测试和研究，以及其他研究领域。配合适当的适配器，高低温晶圆夹盘适用于几乎任何商业手动分析探针台。

所有的冷热晶圆夹盘都默认搭配MK1000控制器，它能达到0.01℃的温度分辨率和稳定性。我们的免费软件WinTemp可记录和显示温度与时间的关系曲线，并可执行几乎所有自己编写的温度分布。对于那些想要自己编写代码的客户，我们也免费提供LabVIEW和C++的源代码。

圆形高低温晶圆夹盘 

    高精度温度控制范围为-100°C至310°C； 表面温度梯度极低； 独立的多组真空通道以便适应不同大小的晶圆尺寸 ；超薄设计易与探针台集成；晶圆尺寸从12mm至304毫米均可满足 ；选配三轴可满足非常低的泄漏/噪音测量；电子浮动平台带接地；快速升温/降温；很高的加热和冷却速率 。

方形高低温晶圆夹盘

    高精度温度控制范围为-120°C至310°C； 表面温度梯度极低； 独立的多组真空通道以便适应不同大小的晶圆尺寸 ；超薄设计易与探针台集成；选配三轴可满足非常低的泄漏/噪音测量；电子浮动平台带接地；快速升温/降温；很高的加热和冷却速率 ；可以和真空腔体兼容。

大温宽高低温晶圆夹盘

    HCC602大温宽高低温晶圆夹盘专为需要大温度范围实验要求而设计，采用纯银的冷热板。HCC602拥有非常宽广的温度范围和很高的温度均匀性。温度范围为-190℃~600℃；可用于显微镜；超薄设计易与探针台集成；有大的孔径和可以更换的视窗；腔体内可通气氛。