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SUMMIT Manual
Summit 200 mm 手动探针台

Summit 200mm 手动探针台是 200mm 晶圆研发级手动在片测试平台,集成 MicroChamber 超低噪声屏蔽与 - 60~300℃宽温测试能力,支持 DC/RF/ 毫米波表征,模块化可升级,适用于器件研发、建模与失效分析。

  • 自动化等级
    手动
  • 测试温域
    -60℃ ~ +300℃
  • 晶圆尺寸
    200 mm
  • 核心优势
    高端屏蔽方案

PRODUCT OVERVIEW
产品概述

高精度探针台,支持多温测试。-60℃~300℃全温区;电磁屏蔽、避光、干燥腔体,适配各类测试场景,测量性能出众。

CORE VALUE
高精度探针台

支持多温测试。-60℃~300℃全温区

Key Features
主要特色
  • 01

    高灵活性
    适配直流、射频、毫米波、失效分析、WLR等多测试场景,支持-60℃~300℃宽温域稳定重复测试,预留硬件升级通道,可拓展后续测试需求。
  • 02

    高端屏蔽方案
    搭载MicroChamber®、PureLine、AttoGuard核心技术,构建高性能电磁屏蔽腔体,有效抑制各类噪声,优化低噪声与1/f噪声测试,全温域高精度、高效率测试无损耗。
  • 03

    易操作与智能软件
    人体工学抽拉锁止载台搭配远程操控组件,晶圆操作与调试高效便捷;专属Velox软件配备增强对位工具,有效提升射频测量精度。
Applications
应用场景
  • 01
    失效分析(Failure Analysis)
  • 02
    电流 - 电压 / 电容 - 电压测试(IV/CV)
  • 03
    微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)
  • 04
    射频 / 毫米波 / 太赫兹(RF/mmW/THz)
  • 05
    晶圆级可靠性测试(Wafer Level Reliability,WLR)