- SUMMIT200
- 高端 200mm 半自动 / 全自动探针台
SUMMIT200 是 200mm 精密探针台，凭借专利超低噪声屏蔽腔体与 - 60℃~+300℃宽温能力，支持 DC 到太赫兹多频段测试，模块化可扩展，满足器件建模、失效分析与特色工艺晶圆测试需求。
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- 自动化等级
- 半自动/全自动
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- 测试温域
- -60℃至 + 300℃
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- 容纳晶圆
- 50 片
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- 核心技术
- Contact Intelligence™
- PRODUCT OVERVIEW
- 产品概述
全新 Cascade SUMMIT200 为高端 200 毫米晶圆探针台，适配研发、器件表征建模与小批量量产，支持半自动 / 全自动运行，测试效率最高提升 5 倍。
搭载高速 200mm 载台、可容纳 50 片晶圆的自动上下料机构，搭配 IceShield™温控系统，支持密闭 / 开放腔体 - 60℃~300℃宽温变温测试。设备集成 PureLine™降噪技术、AttoGuard® 与 MicroChamber® 专利，适配超低直流噪声、射频、毫米波、太赫兹及微弱漏电流、低电容高精度测试；配备 Contact Intelligence™接触智能技术，消除人为操作干扰，全温区测量稳定可靠。整机预留硬件升级接口，同时提供精简版配置，适配多样化测试需求。
- CORE VALUE
- Cascade SUMMIT200 晶圆探针台
高精度 DC/RF/ 毫米波晶圆表征测试效率最高提升 5 倍，快速获取稳定可重复的电性能数据。
- Key Features
- 主要特色
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01
- 超高测量精度
- 集成PureLine屏蔽线路、AutoGuard保护环与MicroChamber微腔技术，优化IV/CV、低噪声与1/f噪声测试；搭配WinCal校准软件，实现优异射频/毫米波测试精度，依托最短信号路径设计，保障高稳定性、低误差测试数据。
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02
- 高效测试产能
- 测试效率最高提升5倍，搭载200mm高速载台、VueTrack™追踪系统与HTS高温稳定技术，支持多温区无人值守高通量测试；配备eVue成像系统与全套自动化工具，适配各类复杂器件测试，大幅缩短测试周期。
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03
- 精准定位与宽温测试
- 四轴高精度载台搭配VueTrack PRO系统，实现亚微米级定位与热补偿；依托ATT温控卡盘，支持-60℃~+300℃全温域测试，搭载MicroVac™、FemtoGuard™技术，实现低寄生、超低噪声可控测试，支持功能现场升级。
- Applications
- 应用场景
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01失效分析（Failure Analysis）
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02电流 - 电压 / 电容 - 电压测试 （IV/CV）
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03微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）
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04射频 / 毫米波 / 太赫兹（RF/mmW/THz）
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05硅基光子学（Silicon Photonics）
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