- MPS150 SiPh
- 高性价比手动硅光子探针台
Cascade MPS150 SiPh面向硅光子PIC芯片研发，提供晶圆级手动光电联合表征能力，实现边耦合/表面耦合光波导测试；低成本快速验证光调制器、探测器、耦合器等光子器件光电性能，定位波导、耦合结构缺陷，是科研与初创企业硅光子研发优选入门探针平台。
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- 晶圆尺寸
- 150 mm
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- 自动化等级
- 手动
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- 硬件拓展
- 支持三端口光子与电学同步测试
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- 应用场景
- 高校、企业研发实验室
- PRODUCT OVERVIEW
- 产品概述
入门级手动探针台，适用于表面耦合与水平侧边耦合测试。
MPS150-SiPh 主要服务高校及入门级用户，可实现光纤精准对位，在无物理接触前提下完成器件光信号输入与输出耦合。设备操作逻辑直观易懂，是新手开展光子学研究、获取超高精度测试数据的理想选型。
- CORE VALUE
- 高性价比手动硅光子探针台
设备操作逻辑直观易懂，是新手开展光子学研究、获取超高精度测试数据的理想选型。
- Key Features
- 主要特色
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01
- 精密光学测试能力
- 搭载折返式反光镜成像技术，集成CalVue、DieVue双光路模块，支持单光纤/光纤阵列的表面与侧边耦合测试。配备6DOF俯仰调节基座，可手动/自动校准入射角度。
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02
- 灵活光学配置
- 可选eVue数字成像系统或SlimVue™高倍率显微镜，适配PIC微小焊盘测试；搭配Spectrum软件，支持Z轴垂直位移测量。
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03
- 模块化&易操作
- 硬件可灵活拓展，支持三端口光子与电学同步测试，可升级自动位移台。人体工学结构搭配抽拉式载台，操作简易、换件高效，适配全层级操作人员。
- Applications
- 应用场景
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01失效分析（Failure Analysis）
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02电流-电压 / 电容-电压测试（IV/CV）
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03硅光子PIC晶圆级光电表征（On-wafer Optoelectronic Characterization of Silicon Photonic PICs）
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