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MPS150
150mm 模块化探针台

Cascade MPS150采用模块化设计,从基础 DC 到高频 THz、硅光子、大功率均可按需配置,高校、企业研发实验室主流手动表征平台,可按需升级不同应用套件。

  • 晶圆尺寸
    150 mm
  • 自动化等级
    手动
  • 灵活性
    模块化组件
  • 应用场景
    高校、企业研发实验室

PRODUCT OVERVIEW
产品概述

基于灵活模块化组件,定制专属 150 毫米探针台,性价比出众!

MPS 150 型 150 毫米探针台采用全新模块化设计理念,产品性能卓越,可轻松为您打造专属探针检测方案,兼顾当下使用需求与未来拓展,且性价比极高。


可选配置

可选配件涵盖连续变倍体视 / 高分辨率显微镜;IV/CV、RF、毫米波、太赫兹、失效分析、大功率等全套应用套件(含 VDI 扩展模块、DELTA 阻抗调谐器);通用、毫米波 / 太赫兹 / 负载牵引专用位移台;同轴、屏蔽、射频、高低温、大功率晶圆卡盘;标准版、毫米波 / 太赫兹 / 负载牵引专用主机。


CORE VALUE
MPS 150 型 150 毫米探针台

基于灵活模块化组件,定制专属 150 毫米探针台,性价比出众!

Key Features
主要特色
  • 01

    超高应用灵活性
    支持射频、毫米波、亚太赫兹、MEMS、光电子、失效分析及晶圆级测试。设备可硬件重构、后期升级,兼容各类测试仪器,快速搭建一体化测试系统,调试高效且不损失测试精度。
  • 02

    极致机械稳定性
    高刚性机身搭配内置隔振结构,减振降噪性能优异。刚性显微支架结合成熟工业设计,有效抵御外界干扰,长期保障高精度、高重复性测试表现。
  • 03

    极简操作体验
    人体工学低矮台面,搭配抽拉式载台,器件更换便捷、显微操作直观,上手门槛低、培训成本低,大幅提升测试效率。
Applications
应用场景
  • 01
    失效分析(Failure Analysis)
  • 02
    电流 - 电压 / 电容 - 电压测试(IV/CV)
  • 03
    微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)
  • 04
    射频 / 毫米波 / 太赫兹(RF/mmW/THz)
  • 05
    晶圆级可靠性测试(Wafer Level Reliability,WLR)
  • 06
    光电子测试(Optoelectronic Tests)